ターボポンピングステーション　Model9030

クライオトモグラフィホルダーとTEM試料ホルダー向けのパワフルでカスタマイズ可能な真空ポンピングステーションです。

• Fischione社製Model 2550 クライオトモグラフィホルダーのデュワーを真空引きし、ゼオライト乾燥剤を再精製します。
• FEIとJEOLのTEM試料ホルダーを真空引きし、クリーンな真空の状態で保管します。
• 構成：FEIまたはJEOLのTEM試料ホルダーを単一で真空引きするか、クワッドホルダードックを使用してFEIと（または）JEOLのポートを４つ混在させて真空引きします。
• 最大4本まで構成可能です。
• 最高真空度は10-6 Torrに到達します。
• オイルフリーの真空排気システムです。

真空ポンピングステーション　Model9020

5本までのTEM用試料ホルダーを真空下に保管出来ます。

• 安定性の高い金属製ベースを採用。
• ５本のModel1091真空保管容器を装備。
• Model1020プラズマクリーナーによる真空引きが可能。

断面試料作成用キット　Model180

高品質なTEM用断面試料を作成する為のキットです。断面試料の積層、保持、観察領域のアラインメント、接着層の均一化などの工程に必要な冶具一式を含んでおります。超音波ディスクカッターModel170と共にご利用下さい。

試料グラインダー　Model160

機械研磨によりTEM試料を均一に薄片化する為の冶具です。最終工程のディンプリングやイオンミリングの時間を大幅に短縮出来ます。

• 高い精度と再現性
• ダイヤルを回して試料の最終的な厚さを調整
• 均一で平行な仕上がり
• 直径18mmまでの試料の取付けが可能
• ディンプリング、イオンミリングの前工程として最適
• 付属のプラテンはModel200ﾃﾞｨﾝﾌﾟﾘﾝｸｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰにそのまま取り付けが可能

試料打ち抜きパンチ　Model130

薄い金属片から高品質の円板試料を打抜く為のパンチです。精密なパンチとダイプレートの組み合わせにより、試料へのストレスやゆがみを防ぎます。
スプリングが内蔵されたリターンプランジャーの働きにより、円板試料は常にダイプレート表面にもどされます。
打ち抜き径は3mm、2.3mm、1mmの3種類からお選び頂けます。
オプションとして、安定性の高い定盤をつけることが可能です。

TEM試料用イオンミリング装置 PicoMill Model1080

微細電子工学と半導体TEM試料に特化したTEM試料用イオンミリング装置です。

• TEMスタイルのゴニオメーター。
• インサイチュの画像確認が可能。
• プログラムによる自動終了が可能。
• 最大加速電圧10keV。

FIB後処理用イオンミリング装置 NanoMill Model1040

FIB(集束イオンビーム)により作製されたTEM試料に対する、後処理用ミリング装置です。FIBを用いて試料を作製すると、表層のアモルファス化やガリウムの注入を生じることが多くあり、このようなダメージ層は10nm～30nmになることもあります。ナノミルは、このよなダメージ層の除去に最適な装置です。SED（2次電子検出器）により試料の画像を取得し、目的のスポットのみをピンポイントでイオンミリング出来ますので、リデポ（再堆積）の発生も防げます。

TEM用イオンミリング装置 TEM Mill Model1051

ダメージのない高品質の透過型電子顕微鏡（TEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。特許技術のTrueFocusイオン源は、広範な加速電圧に対して細いビーム径を維持します。イオンビームの加速電圧は100eV～10keVの範囲で、ミリング角度は-15°～+10°の範囲で任意に設定出来ますので、試料の高速ミリングから最終ポリッシングまであらゆる工程でご利用頂けます。ロードロック機構（予備排気室）を搭載しており、試料の出し入れを迅速に行うことが可能です。液体窒素冷却システム、ミリング位置微調整ホルダー、真空封入移動カプセルなど、オプション群も充実しています。

SEM用イオンミリング装置 SEM Mill Model1061

ダメージのない高品質の走査型電子顕微鏡（SEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。2つのイオン源を装備しており、2方向からの高速ミリングが可能です。サンプル位置の自動検出機能を搭載しており、あらゆる高さのサンプルに対してステージ位置を自動調整します。オプションの断面試料用ローディングステーションを用いれば、ミリング位置と遮蔽マスクを正確にアラインメントできる為、高品質の断面試料が作成できます。フォーカス調整によりビーム径の調整が出来ることも特徴で、あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを行えます。

大口径SEM用イオンミリング装置 Trion Mill Model1062

この装置は、完全に自動化された卓上型アルゴンイオンミルで、ミリングパラメーターの設定自由度を大幅に改善したことで平面および断面試料の大規模なミリング加工を行います。3つのイオン源の搭載により、直径50mmまでの試料を効果的に処理し、イオンミリングならではの極めて均一で平滑な表面性状を広範囲にわたって創出します。周囲環境に敏感な材質の試料もSEMやFIBへ直接移動が可能です。

半導体用　ミリスケールディレイヤーイオンミリング装置 ChipMill Model1064

ミリスケールでナノメーターの平滑なディレイヤーを行うイオンミリング装置です。

• T最大ミリングエリア10 x 10 mm。
• AIフィードバック制御によりミリング工程を自動化。

ツインジェット電解研磨装置 Model110

透過型電子顕微鏡（TEM）で導電性の試料を観察する場合、電解研磨装置を用いることが最も効率的です。ツインジェット電解研磨装置は、対になった電解質溶液の流れが試料の両面を均等に研磨し、アーチファクトのない薄片試料を数分間で作製します。電解質溶液の流れ、研磨電圧、終了検知感度、試料位置などの設定事項は、容易に変更が可能です。

超音波ディスクカッター Model170

超音波ディスクカッターは、ダメージを与えずに、硬くて脆い試料から透過型電子顕微鏡(TEM)用試料を切り出す装置です。厚さ10mm程度の試料から、円板状の標本を切り出すことや、ある大きさを持った固まりから長さ10mm以下の円柱試料を切り出すこと、あるいはXTEM用試料を作製する際に使用される四角形のウェハーを切り出すことが出来ます。

超精密ディンプリンググラインダー Model200

透過型電子顕微鏡（TEM）用の薄片試料を作製するための機械研磨装置です。グラインディングホイールと試料ステージの双方を回転させることで、試料の中心部分のみを数μｍの厚さまで研磨することが可能です。ディンプリンググラインダーで試料をある程度まで薄くすることにより、イオンミリングを行う時間を短縮することが出来ます。試料作製の最終段階としてイオンミリング装置を使用する場合には、必要不可欠な装置です。

コンタミネーション除去装置　プラズマクリーナー Model1020

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質（コンタミ）を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えることなく、有機物質のみを除去することが可能です。プラズマクリーナーをごく短時間使用するだけで、コンタミのないクリーンな試料を得ることが出来ます。

コンタミネーション除去装置　ナノクリーン Model1070

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えずに、有機物質のみを除去することが可能です。2つのホルダーの同時挿入、半導体ウェハーのような大型試料の処理にも対応しています。プラズマクリーナーModel1020の上位機種として、コンタミの除去をより柔軟に行うことが可能となっています。

１軸 トモグラフィーホルダー Model2020

標準的な、TEM用の電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

• 一軸傾斜、傾斜角度：±80°
• 視野：最大1.6mm （70°傾斜時）
• 試料サイズ：φ3mm、試料厚さ：250um（最大）
• 解像度：0.34nm（全方位）
• セルフセンタリングサポートが試料を所定の位置に的確に配置
• 両持ちクランピング方式により試料を均一な力でにクランピング

ウルトラナローギャップトモグラフィーホルダー Model2030

ポールピースギャップが狭い（3mm以下）超高解像度電子顕微鏡に適した、電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

• 一軸傾斜、傾斜角度：±90°
• 視野：ホルダーによる制限なし
• 試料サイズ：1.5mm 角またはφ1.5mm、試料厚さ100um（最大）
• 解像度：0.34nm（全方位）
• ﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽｷﾞｬｯﾌﾟが狭い（3mm 以下）超高解像度電子顕微鏡観察に最適
• 片持ちクランピング方式

２軸 トモグラフィーホルダー Model2040

超高精密な面内回転機構を持つ電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

• 平面上の超高精度回転（360°）が可能
• 一軸傾斜、傾斜角度：±70°
• 視野：最大950um （70°傾斜時）
• 試料サイズ：φ3mm、試料厚さ：100um（最大）
• 解像度：0.34nm（全方位）
• ﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽｷﾞｬｯﾌﾟが5mm程度の電子顕微鏡に対応
• 環状のスプリングクランピング方式により均一で確実なクランピングを実現
• 面内の2ポジション90°精密インデクシングが可能

モーター駆動２軸 トモグラフィーホルダー Model2045

モーター駆動の面内回転機構を持つ電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

• 平面上の超高精度回転（360°）が可能
• 一軸傾斜、傾斜角度：±70°
• 視野：最大950um （70°傾斜時）
• 試料サイズ：φ3mm、試料厚さ：100um（最大）
• 解像度：0.34nm（全方位）
• モーター駆動による高いスループット
• ﾎﾟｰﾙﾋﾟｰｽｷﾞｬｯﾌﾟが5mm程度の電子顕微鏡に対応
• 環状のスプリングクランピング方式により均一で確実なクランピングを実現
• 面内の2ポジション90°精密インデクシングが可能

軸回転トモグラフィーホルダー Model2050

棒状または円錐状試料の観察に適した、軸回転タイプの電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

• 一軸傾斜、傾斜角度：360°
• 試料サイズ：
• 1.8mm ｶｰﾄﾘｯｼﾞ：ベース直径1mmφ以下、長さ20 ㎜以下の棒状または円柱状試料
• 1mm ｶｰﾄﾘｯｼﾞ：棒状または円柱状試料をポストの先端に接着
• 解像度：0.34nm（全方位）
• 棒状または円錐状試料のトモグラフィーに最適
• FIB で作成した試料やアトムプローブ電解イオン顕微鏡(APFIM)用の試料に最適

クライオトランスファートモグラフィーホルダー Model2550

低温電子顕微鏡観察用の試料を、低温下で移動・観察する為の電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

• 一軸傾斜、傾斜角度：±80°
• 試料グリッドサイズ：φ3mm
• 視野：2mm （0°傾斜時）
• 解像度：最大0.18nm（0°傾斜時）
• 冷却温度：-175℃以下
• デュワーサイズ：200ml
• 冷却時間：4 時間以上