大口径SEM用イオンミリング装置 Trion Mill Model1062

仕様

イオン源：

• TrueFocusイオン源を3つ搭載
• 加速電圧（100eV～10keV）
• ビーム電流密度（～10mA/cm² ）
• ミリング角度（0°～+10°）
• ミリングに使用するイオン源の選択が可能（イオン源を1つ、2つ、3つで選択）
• モーター駆動によるミリング角度の設定
• イオン源エネルギーを独立して制御
• ビーム径を300µm～5mmで調整可能
• 各イオン源のビーム電流量のファラデーカップを用いた直接測定（特定用途向けにイオン源パラメータの最適化・調整が可能）
• 500µm/hour 以上のミリング効率
• イオン源のローメンテナンス

ロードロック：

• 短時間に多数のサンプルを処理するための前面挿入式ロードロック
• 空圧式真空ゲートバルブ
• 試料の脱着が容易な差し込み型ホルダー
• 未使用時に折り畳みが可能な試料移動用ロッド

ユーザーインターフェース：

• 10インチタッチスクリーンによる制御

試料ステージ：

• 試料サイズ
  • 平面試料
    φ50mm×高さ25mm
  • 断面試料
    最大：10mm×10mm×4mm
• ミリング面までの試料厚さを自動検知（高い再現性）
• 360°連続回転（回転速度可変）

試料冷却（オプション）：

• 18時間以上の冷却時間

真空／不活性ガス／極低温での移動システム（オプション）：

• 真空中、不活性ガス中、極低温下での試料のSEMまたはFIBへの移動または保管が可能（Quorum社と共同開発）

その場観察（オプション）：

• 高倍率デジタルマイクロスコープ（525倍／1960倍）により、ミリング位置にある試料の観察が可能

リモート操作（オプション）：

• 複数の機能を外部コンピュータからリモート操作可能

装置サイズ：

• 幅：76cm
• 高さ：66cm（タッチスクリーンまでの高さ）
  88cm（顕微鏡を付けた場合の高さ）
• 奥行：最小65cm（試料移動ロッド折り畳み時）
  最大98cm（試料移動ロッド伸展時）

電源：

• 100VAC, 50/60Hz, 720W

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